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PLUTO-160 等离子清洗机/表面处理系统

更新时间:2021-03-23

PLUTO-160 等离子清洗机/表面处理系统
适用于等离子清洗,活化以及刻蚀等多种应用,设备可在严苛环境下稳定运行,获得高度均一的使用效果。

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PLUTO-160 等离子清洗机/表面处理系统

PLUTO-160是一款为工业级客户和研发型客户使用需求设计的宽泛使用等离子表面处理设备,适用于等离子清洗,活化以及刻蚀等多种应用,设备可在严苛环境下稳定运行,获得高度均一的使用效果。

PLUTO-160 等离子清洗机/表面处理系统

产品特点:

13.56MHz射频电源与自动匹配系统,具有优异的稳定性与可重复性

•         灵活的电极结构设置与优化的气体馈入、分布方案,确保大批量处理的均匀性

•         PLC与工控机提供稳定的过程控制,设备运行的实时参数通过显示屏直观呈现

•         系统稳定可靠,易于保养与维护

 

    标准腔体电极为平行板电极结构,通过改变电极配置(RF电极、地电极、悬浮电极等)可以获得不同的工艺效果

    多支持扩展至8片电极

    每对电极间为独立空间   

 

    批处理电极改变了标准的平行板电极结构

    通过优化的电场和进气设计实现对magazi和boat等载具内产品的均匀处理。

武汉赛斯特精密仪器有限公司是武汉市专业研发,以力学试验机仪器为主,同时销售各种、中低端分析仪器。现有员工60多人,公司成功开发了PCI放大采集卡和中文版试验软件,并采用全数字化,操作简捷,完全符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等标准、国家标准、行业标准的要求,公司亦通过了ISO9001质量体系认证和国家计量体系认证,荣获了“武汉市第九界消费者满意单位”的称号。

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