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高低温真空探针台

更新时间:2021-03-23

高低温真空探针台 高低温真空环境下的芯片测试,材料测试,霍尔测试,电磁输运特性等。高低温真空环境下的芯片测试,材料测试,霍尔测试,电磁输运特性等。

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应用领域化工厂,电力,科学研究

高低温真空探针台

产品概述:

可进行真空环境下的高低温测试(4.2K~500K),可升级加载磁场,低温防辐射屏设计,样品台采用高纯度无氧铜制作,温度均匀性更好,温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置,支持光纤光谱特性测试,兼容高倍率金相显微镜,可微调移动,器件的高频特性(支持高67GHz频率),探针热沉设计,LD/LED/PD的光强/波长测试,自动流量控制,材料/器件的IV/CV特性测试等。

高低温真空探针台

应用范围:

高低温真空环境下的芯片测试,材料测试,霍尔测试,电磁输运特性等。

可选附件:

þ 防震桌

þ 多级压缩制冷机

þ 机械泵/分子泵组/离子泵

þ 射频部件

þ 各类型频率真空接头

þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…

þ 各类探针夹具

þ Chuck运动装置

þ 电磁铁系统/超导磁铁系统

þ 1Mpa正压系统

þ 超高温升级选件

þ 超高真空升级选件

技术指标:

型号

T81-50探针台

T80-50探针台

制冷方式

液氦/液氮制冷

闭循环制冷机

腔体材质

无磁不锈钢或者铝合金

真空度

高真空10-8Pa

真空腔观察窗尺寸

2inch(可选)

控温范围

4.2K-450K

5K-450K

控温分辨率

0.001K控温仪相关

温度稳定性

0.1K控温仪相关

降温时间

40min

150min内,视制冷机功率定

温度传感器

硅二极管、PT100(3个,样品台和探针臂和防辐射屏上各一个)

加热电源

LVDC 低压直流

样品台材质

镀金无氧铜

样品台尺寸

直径20-50mm,可选100mm

样品台平整度

≤7μm

样品台固定方式

固定的样品台(可升级随位移台移动)

样品台振动级别

≤50纳米

≤1μm(三级减震)

探针臂数量

2个、4个、6个、8个可选

探针臂机械精度

±12.5mm(可升级±25mm),精度1μm(可选)

探针种类

钨、铍铜、微波探针(可选高达67GHz的GSG探针)

探针调节

真空波纹管外部调节,手动控制

放大倍数

16~100X/20~4000X

显微镜行程

X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z轴行程≥50.8mm

电力需求

220V 50-60Hz

 

应用范围:

磁特性测试、微波特性测试、直流、RF特性测试,微电子机械系统,超导电性测试,纳米电路的光电属性,量子点和线,高低温真空环境下的芯片测试,材料测试,霍尔测试,电磁输运特性等

可选附件:

þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线

þ CCD或C-MOS视频成像装置

þ Chuck运动装置

þ 电磁铁系统/超导磁铁系统

þ 1Mpa正压系统升级

þ 超高温升级选件

þ 超高真空升级选件

þ 各类探针夹具

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