半导体检测仪器设备全套--3D光学测量系统 虚拟量测室（VMR） ·VMR可模拟现实环境，规划智能教导扫描路径，避免碰撞击干涉 ·也可进行离线编成设计路径，避免占用设备的扫描排程 ·其任何检测流程皆可复制，提高扫描过程的z准性及效益

半导体检测仪器设备全套，赛斯应：3D光学测量系统、PIND颗粒噪声测试仪、X光检测系统、非接触影像测量仪、氦质谱检漏仪、晶圆薄膜应力测试仪、聚焦离子束FIB、美国MTI晶圆几何参数测试仪、扫描电镜SEM等产品