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半导体检测仪器设备全套--3D光学测量系统 虚拟量测室(VMR) ·VMR可模拟现实环境,规划智能教导扫描路径,避免碰撞击干涉 ·也可进行离线编成设计路径,避免占用设备的扫描排程 ·其任何检测流程皆可复制,提高扫描过程的z准性及效益
半导体检测仪器设备全套,赛斯应:3D光学测量系统、PIND颗粒噪声测试仪、X光检测系统、非接触影像测量仪、氦质谱检漏仪、晶圆薄膜应力测试仪、聚焦离子束FIB、美国MTI晶圆几何参数测试仪、扫描电镜SEM等产品